美國TESCOM VN系列高壓控制閥采用無彈簧無螺紋的平衡閥芯結構，成為業(yè)內少數(shù)能滿足超高純系統(tǒng)要求的解決方案。其設計理念源于航空級精密控制標準，通過模塊化構造實現(xiàn)從真空至20000 psig的寬范圍壓力調節(jié)，CV值覆蓋0.02至20的流量需求。

  美國TESCOM VN系列高壓控制閥三個典型的應用場景如下：

1. 半導體制造

在晶圓加工環(huán)節(jié)，VN系列用于：

刻蝕工藝中的特種氣體壓力控制（如CF4、SiH4）

化學氣相沉積（CVD）反應腔體的背壓調節(jié)

超純水系統(tǒng)的壓力穩(wěn)定

2. 石油化工

高壓加氫反應器的進料壓力控制

腐蝕性介質（如H2S、Cl2）的隔離調節(jié)

海上平臺高壓管線的安全泄放

3. 新能源領域

氫燃料電池堆的氫循環(huán)系統(tǒng)壓力管理

鋰電池電解液注入的精密計量

光伏行業(yè)多晶硅生產的氣體配比

  美國TESCOM VN系列高壓控制閥規(guī)格

最大入口壓力10,000psig/689bar

閥體材質316 不銹鋼

閥座材質Vespel® SP1

O 型圈丁腈橡膠、乙烯丙烯橡膠或 Viton®

支撐環(huán)Teflon®

耐磨環(huán)聚醚醚酮 (PEEK)

Grayloc 端頭Nitronic 60

其他部件316 不銹鋼、17-4 不銹鋼

工作溫度-29°C 至 74°C/-20°F 至 165°F

端口尺寸和類型1-1/2 螺紋式 Grayloc 端頭

流通能力Cv = 20

重量35 lb/15.9kg

負載類型手動

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